在濺射鍍膜工藝中，z因子和工具因子(Tooling值)是兩個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，分別用于描述薄膜沉積行為和修正設(shè)備誤差。以下是具體解析:

一、z因子的定義與計(jì)算

1.概念:z因子是描述薄膜沉積過程中粒子行為的參數(shù)，反映粒子在氣相中的擴(kuò)散程度，直接影響薄膜的粒子尺寸分布和性能優(yōu)化。

2.計(jì)算公式:

二、工具因子(Tooling值)的定義與計(jì)算

1.概念:工具因子是量化鍍膜機(jī)內(nèi)基片與蒸發(fā)源(或?yàn)R射靶材)相對(duì)位置關(guān)系的參數(shù)，用于修正膜厚誤差，確保沉積速率的空間分布均勻性。

2.計(jì)算邏輯:

薄膜厚度(t)與工具因子(k)的數(shù)學(xué)關(guān)系為:

需通過實(shí)驗(yàn)標(biāo)定具體數(shù)值，以消除設(shè)備結(jié)構(gòu)或材料特性引起的膜厚偏差。

3.應(yīng)用場(chǎng)景:若計(jì)算失準(zhǔn)，可能導(dǎo)致膜厚均勻性下降(邊緣與中心差異超+5%)、重復(fù)性失效或材料浪費(fèi)超30%。

三、兩者的關(guān)聯(lián)與差異

。關(guān)聯(lián)性:均用于優(yōu)化薄膜性能，z因子側(cè)重粒子行為預(yù)測(cè)，工具因子側(cè)重設(shè)備位置修正。

。差異:z因子屬于理論模型參數(shù)，工具因子屬于工程標(biāo)定參數(shù)。

以上參數(shù)需結(jié)合具體工藝(如磁控濺射)和材料特性(如靶材純度)綜合調(diào)整。