探頭故障現(xiàn)象、原因及排除方法

1、沉積期間厚度讀數(shù)大跳變

a. 不良晶片產生   解決方案：更換晶片

b. 晶片接近其使用壽命  解決方案：更換晶片

c. 晶片支承座表面有雜物   解決方案：用酒精或細砂皮清洗支承座

d. 來自濺射源的頻率干涉   解決方案： 檢查接地，儀器遠離濺射源

2、沉積期間晶體停振，但晶片壽命未到

a. 晶片被來自鍍膜源熔化材料小熔滴撞擊   解決方案：鍍膜起始階段用檔板遮蔽后移開

b. 不良晶片   解決方案： 更換晶片

c. 晶片支承座內腔表面有雜質   解決方案：清洗

3、晶體在真空中振蕩，單暴露空氣后停振

a.晶體接近使用壽命，暴露空氣導致薄膜氧化而引起薄膜壓力增加   解決方案： 更換晶片

b. 晶片積累了過多水分   解決方案：暴露空氣之前關掉探頭冷卻水